Рассмотрены основные физические эффекты, присущие поверхностному слою измеряемого объекта, оказывающие влияние на формирование неопределенности измерений параметров рельефа и текстуры поверхности в нанометровом диапазоне размеров. Показано, что квантовый размерный эффект характерен для малых кластеров 0,5 – 2,0 нм и связан с дискретностью энергетического спектра электронов в кристалле, возникающей, когда характерные размеры системы оказываются сравнимыми с масштабом когерентности электронной волновой функции.

Рассмотрен механизм формирования бюджета неопределенности измерений параметров рельефа и формы поверхности в нанометровом диапазоне применительно к типовым оптическим схемам интерферометра Тваймана–Грина и Физо. Отмечено, что в большинстве известных работ реализуется дифференциальный (разностный) метод измерений. Рассмотрены амплитудный и амплитудно-фазовый интерференционные методы координатного измерения отклонения формы поверхности.

Рассмотрены методы свехразрешения в оптической интерференционой микроскопии при измерениях параметров рельефа и текстуры поверхности в нанометровом диапазоне. Показано, что разрешающая способность микроскопа определяется не аппаратными свойствами самого прибора, а точностью измерения выходного сигнала.

Приведены результаты анализа методических и инструментальных погрешностей, неизбежно возникающих при измерении параметров рельефа и формы поверхности методами 3D-интерферометрии с опорным волновым фронтом и интерферометрии бокового сдвига. Отмечено, что наибольший вклад в суммарную методическую погрешность вносят погрешности измерений текущих порядков интерференции, погрешности измерения текущих координат и сдвига пренебрежимо малы. Показано, что суммарная погрешность метода приближенного интегрирования связана с погрешностью интерполяции и зависит от состояния формы поверхности.

Рассмотрен способ косвенных измерений параметров закона роста питтинга на основе кулонометрического метода и дан анализ его точности в сравнении с методом двойного фокусирования. Для анализа точности использован математический аппарат дисперсионного анализа. Установлено, что косвенное измерение на основе кулонометрического метода является более эффективным по сравнению с методом на базе двойной фокусировки микроскопа, так как характеризуется меньшей дисперсией результатов оценивания параметров закона роста питтинга.