Специфика формирования неопределенности измерений геометрических параметров рельефа поверхности методами интерферометрии высокого разрешения

Рассмотрен механизм формирования бюджета неопределенности измерений параметров рельефа и формы поверхности в нанометровом диапазоне применительно к типовым оптическим схемам интерферометра Тваймана–Грина и Физо. Отмечено, что в большинстве известных работ реализуется дифференциальный (разностный) метод измерений. Рассмотрены амплитудный и амплитудно-фазовый интерференционные методы координатного измерения отклонения формы поверхности.

интерферометр, характеризация и текстура поверхности, дифференциальный (разностный) метод измерений, амплитудный и амплитудно-фазовый интерференционные методы, interferometer, characterization and surface texture, differential (difference) measurement method, amplitude and the phase-amplitude interference methods

1. Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Учебное пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.

2. ГОСТ Р 8.629–2007 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.

3. Dotson С. Fundamentals of dimensional metrology. N.Y.: Delmar Learning, 2006.

4. Leach R. K. Fundamental principles of engineеring nanometrology. N. Y.: Elsevier Science & Technology, 2010.

5. ГОСТ Р 8.743–2011. ГСИ. Оптика и фотоника. Интерференционные измерения оптических элементов и систем. Часть 1. Термины, определения и основные соотношения.

6. Левин Г. Г., Золотаревский С. Ю. Количественная фазовая микроскопия на основе принципов интерференционной рефрактометрии // Метрология, № 3 2008, стр. 1521.

7. Кононогов С. А., Голубев С. С., Лысенко В. Г. Исследование измерительных и калибровочных возможностей средств измерений нанометрового диапазона // Законодательная и прикладная метрология. 2008. № 3. С. 19–26.