Для цитирования:

Кононогов С.А., Золотаревский С.Ю., Лысенко В.Г., Лясковский В.Л. Основные физические эффекты, влияющие на формирование неопределенности измерений параметров рельефа поверхностив нанометровом диапазоне размеров. Метрология. 2013;(8):4-10.