Анализ неопределенностей, обусловленных методическими и инструментальными погрешностями интерферометрии параметров рельефа и формы поверхности.

Аннотация

Приведены результаты анализа методических и инструментальных погрешностей, неизбежно возникающих при измерении параметров рельефа и формы поверхности методами 3D-интерферометрии с опорным волновым фронтом и интерферометрии бокового сдвига. Отмечено, что наибольший вклад в суммарную методическую погрешность вносят погрешности измерений текущих порядков интерференции, погрешности измерения текущих координат и сдвига пренебрежимо малы. Показано, что суммарная погрешность метода приближенного интегрирования связана с погрешностью интерполяции и зависит от состояния формы поверхности.