Анализ методов сверхразрешения в оптической интерференционной микроскопии
Аннотация
Рассмотрены методы свехразрешения в оптической интерференционой микроскопии при измерениях параметров рельефа и текстуры поверхности в нанометровом диапазоне. Показано, что разрешающая способность микроскопа определяется не аппаратными свойствами самого прибора, а точностью измерения выходного сигнала.
Об авторах
Ф. В. Булыгин
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (РОССТАНДАРТ)
Россия
Россия
С. Ю. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия
Россия
С. А. Кононогов
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия
Россия
Я. А. Илюшин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Г. Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Л. . Лясковский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Список литературы
1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970.
2. Виноградова М. Б., Руденко О. В., Сухоруков А. П. Теория волн. М.: Наука, 1990.
3. Вишняков Г. Н., Левин Г. Г., Минаев В. Л. Томографическая микроскопия трехмерных фазовых объектов в пространственно-некогерентном свете // Оптика и спектроскопия. 2003. Т. 95. № 1. С. 142–146.
4. Илюшин Я. А. и др. Численное моделирование процедуры восстановления рельефа оптической поверхности с учетом рассеяния излучения на наноструктурах // Метрология. 2010. № 2. С. 3–12.
5. Илюшин Я. А. и др. Моделирование процессов рассеяния оптического излучения нанообъектами с конечными диэлектрической проницаемостью и проводимостью // Метрология. 2010. № 1. С. 10–22.
6. Левин Г. Г. и др. Определение наноперемещений объекта по оптическому фазовому изображению // Измерительная техника. 2010. № 7. С. 38–42; Levin G. G. е. а. Measurement of nanomovements of an object from the optical phase image // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N. 7. P. 782–788.
7. Левин Г. Г. и др. Моделирование процессов рассеяния оптического излучения наноразмерными структурами // Метрология. 2009. № 12. C. 7–13.
8. Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Учеб. пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.
9. Gustafsson, M. G. L, Agard D. A., Sedat J. W. I5M: 3D-widefield light microscopy with better than 100 nm axial resolution // Journal of Microscopy. 1999. V. 195. Part 1. P. 10–16.
10. Hell S. W. e. a. Diffraction-unlimited three-dimensional optical nanoscopy with opposing lenses // Nature Photonics. 2009. V. 3. P. 381–387.
11. Morgan S. P. е. а. Interferometric optical microscopy of subwavelength grooves// Optics Communications. 2001. V. 187. P. 29–38.
Рецензия
Для цитирования:
Булыгин Ф.В., Золотаревский С.Ю., Кононогов С.А., Илюшин Я.А., Левин Г.Г., Лясковский Л. Анализ методов сверхразрешения в оптической интерференционной микроскопии. Метрология. 2013;(8):22-30.
Просмотров:
53
