Основные физические эффекты, влияющие на формирование неопределенности измерений параметров рельефа поверхностив нанометровом диапазоне размеров
Аннотация
Рассмотрены основные физические эффекты, присущие поверхностному слою измеряемого объекта, оказывающие влияние на формирование неопределенности измерений параметров рельефа и текстуры поверхности в нанометровом диапазоне размеров. Показано, что квантовый размерный эффект характерен для малых кластеров 0,5 – 2,0 нм и связан с дискретностью энергетического спектра электронов в кристалле, возникающей, когда характерные размеры системы оказываются сравнимыми с масштабом когерентности электронной волновой функции.
Об авторах
С. А. Кононогов
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия
Россия
С. Ю. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия
Россия
В. Г. Лысенко
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия
Россия
В. Л. Лясковский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Список литературы
1. Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Учеб. пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.
2. Rae A. I. M. Quantum mechanics. U.K.: Chapman&Hall, 2007.
3. Dotson С. Fundamentals of dimensional metrology. N.Y.: Delmar Learning, 2006.
4. Gomer R. Diffusion of adsorbates on metal surfaces // Rep. Progr. Phys. 1990. V. 53. P. 917–1002.
5. Кононогов С. А., Голубев С. С., Лысенко В. Г. Исследование измерительных и калибровочных возможностей средств измерений нанометрового диапазона // Законодательная и прикладная метрология. 2008. № 3. стр. 19–26.
Рецензия
Для цитирования:
Кононогов С.А., Золотаревский С.Ю., Лысенко В.Г., Лясковский В.Л. Основные физические эффекты, влияющие на формирование неопределенности измерений параметров рельефа поверхностив нанометровом диапазоне размеров. Метрология. 2013;(8):4-10.
Просмотров:
31
