№ 9 (2012)
ОБЩИЕ ВОПРОСЫ МЕТРОЛОГИИ И ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ТЕХНИКИ
3-14 46
Аннотация
Описан способ определения М-оценок, позволяющий при обработке выборок многократных наблюдений, засоренных промахами с неизвестным законом распределения, значительно повысить помехоустойчивость обработки. Предлагаемый подход применен к вычислению М-оценки с весовой функцией Тьюки.
НАНОМЕТРОЛОГИЯ
В. В. Альзоба,
В. П. Гавриленко,
А. Ю. Кузин,
В. Б. Митюхляев,
А. В. Раков,
П. А. Тодуа,
М. Н. Филиппов
15-19 37
Аннотация
увеличении максимальное относительное отклонение от среднего значения шага тестовой структуры для использованного микроскопа не превышает 0,4 %.
ЛИНЕЙНЫЕ И УГЛОВЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ
20-23 56
Аннотация
Рассмотрен интерференционный компьютерный профилометр ПИК-30М для измерения высоты профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазонах, радиуса кривизны сферических зеркал 2000 – 7000 мм. Диаметр объектов не более 30 мм.
ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ
МЕХАНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ
41-50 43
Аннотация
Предложен метод уменьшения температурной погрешности тонкопленочных емкостных нано- и микроэлектромеханических систем, а также датчиков на их основе.
ISSN 0132-4713 (Print)
ISSN 2712-9071 (Online)
ISSN 2712-9071 (Online)
