Для цитирования:

Белозубов Е.М., Белозубова Н.Е., Васильев В.А. Метод уменьшения температурной погрешности тонкопленочных емкостных нанои микроэлектромеханических систем и датчиков на их основе. Метрология. 2012;(9):41-50.