Интерференционный профилометр для измерения формы поверхности отражающих объектов
Аннотация
Рассмотрен интерференционный компьютерный профилометр ПИК-30М для измерения высоты профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазонах, радиуса кривизны сферических зеркал 2000 – 7000 мм. Диаметр объектов не более 30 мм.
Ключевые слова
профилометр,
форма поверхности,
радиус кривизны,
profilometer,
surface shape,
phase steps method,
radius of curvature
Об авторах
В. Л. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
Г. Н. Вишняков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Минаев В. Л., Ломакин А. Г. Интерференционный компьютерный профилометр // Фотометрия и ее метрологическое обеспечение: Тезисы докл. XVIII науч.-техн. конф. М., 2005. С. 123.
2. Ломакин А. Г., Минаев В. Л. Интерференционная профилометрия зеркально-отражающих поверхностей // Измерительная техника. 2006. № 12. С. 16 – 18;
3. Lomakin A. G., Minaev V. L. Interference profiling of specularly reflecting surfaces //Measurement Techniques. 2006. V. 49. N 12. P. 1194 – 1197.
Рецензия
Для цитирования:
Минаев В.Л., Вишняков Г.Н. Интерференционный профилометр для измерения формы поверхности отражающих объектов. Метрология. 2012;(9):20-23.
Просмотров:
57
