Метод уменьшения температурной погрешности тонкопленочных емкостных нанои микроэлектромеханических систем и датчиков на их основе
Аннотация
Предложен метод уменьшения температурной погрешности тонкопленочных емкостных нано- и микроэлектромеханических систем, а также датчиков на их основе.
Об авторах
Е. М. Белозубов
Пензенский государственный университет, Пенза
Россия
Россия
Н. Е. Белозубова
Пензенский государственный университет, Пенза
Россия
Россия
В. А. Васильев
Научно-исследовательский институт физических измерений, Пенза
Россия
Россия
Список литературы
1. Белозубов Е. М., Васильев В. А. Нано- и микроэлектромеханические системы тонкопленочных датчиков давления. Принципы построения и перспективы использования // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2009. №. 9. С. 26 – 32.
2. Белозубов Е. М., Васильев В. А, Громков Н. В. Тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы – основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники // Измерительная техника. 2009. № 7. С 35 – 38;
3. Belozubov E. M., Vasil’ev V. A., Gromkov N. V. Thin-film nano- and micro-electromechanical systems – the basis of contemporary and future pressure sensors for rocket and aviation engineering //Measurement Techniques. 2009. V. 52. N 7. P. 739 – 744.
4. Белозубов Е. М., Васильев, В. А., Громков Н. В. Проблемы и основные направления исследований тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления // Датчики и cистемы. 2009. № 8. С. 54 – 58.
5. Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления // Нано-и микросистемная техника. 2008. № 10. С. 42 – 47.
6. Белозубов Е. М, Белозубова Н. Е. Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур // Нано-и микросистемная техника. 2008. № 7. С. 41 – 44.
7. Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев, В. А. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе // Нано- и микросистемная техника. 2009. № 2. С. 33 – 39.
8. Пат. 2010197 РФ. Датчик давления / Е. М. Белозубов //Бюл. изобрет. 1994. № 6.
9. Пономарев С. Д., Андреева Л. Е. Расчет упругих элементов машин и приборов. М.: Машиностроение, 1980.
Рецензия
Для цитирования:
Белозубов Е.М., Белозубова Н.Е., Васильев В.А. Метод уменьшения температурной погрешности тонкопленочных емкостных нанои микроэлектромеханических систем и датчиков на их основе. Метрология. 2012;(9):41-50.
Просмотров:
47
