НАНОМЕТРОЛИЯ
| Выпуск | Название | |
| № 5 (2013) | Измерение толщины естественного оксида на кремниевой рельефной шаговой структуре | Аннотация PDF (Rus) |
| В. П. Гавриленко, А. В. Заблоцкий, А. А. Кузин, А. Ю. Кузин, А. А. Кузьмин, М. А. Ермакова, В. Б. Митюхляев, А. В. Раков, П. А. Тодуа, М. Н. Филиппов | ||
| 1 - 1 из 1 результатов | ||
