Для цитирования:

Гавриленко В.П., Заблоцкий А.В., Кузин А.А., Кузин А.Ю., Кузьмин А.А., Ермакова М.А., Митюхляев В.Б., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Измерение толщины естественного оксида на кремниевой рельефной шаговой структуре. Метрология. 2013;(5):14-18.