Измерение толщины естественного оксида на кремниевой рельефной шаговой структуре
Аннотация
Представлены результаты измерений толщины естественного оксида на кремниевой структуре, представляющей собой набор элементов (выступов) с трапецеидальным профилем, шагом 2 мкм, шириной верхнего основания 10 нм, высотой элементов 500 нм, наклон боковой стороны элемента относительно его основания 54,7о. Вся структура покрыта естественным окислом, возникшим при комнатной температуре. Для обеспечения прослеживаемости измерений использовано расстояние между плоскостями {111} кремния.
Об авторах
В. П. Гавриленко
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
А. В. Заблоцкий
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
А. А. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
А. Ю. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
А. А. Кузьмин
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
М. А. Ермакова
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
А. В. Раков
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Engel T. The interaction of molecular and atomic oxygen with Si(100) and Si(111) // Surf. Sci. Rep. 1993. V. 18. P. 91.
2. Филатова Е. О. и др. Исследование естественного окисла на поверхности монокристаллического кремния (111) и (100) марки КЭФ (111) и марки КДБ методом спектроскопии отражения //Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. Вып. 2. С. 36.
3. Gavrilenko V. P. e. a. Test object of the linewidth with a trapezoidal profile and three certified sizes for an SEM and AFM //Meas. Sci. Tech. 2009. V. 20. N 084022. P. 7.
4. Filippov M. N. e. a. Reference material for transmission electron microscope calibration // Meas. Sci. Tech. 2011. V. 22. N 094014. P. 5.
Рецензия
Для цитирования:
Гавриленко В.П., Заблоцкий А.В., Кузин А.А., Кузин А.Ю., Кузьмин А.А., Ермакова М.А., Митюхляев В.Б., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Измерение толщины естественного оксида на кремниевой рельефной шаговой структуре. Метрология. 2013;(5):14-18.
Просмотров:
45
