На основе кусочно-линейной аппроксимации оперативной характеристики решающей функции, определяющей эффективность оценки качества изделия, представленного скалярной величиной, разработана методика формирования ограничений на параметры, при выполнении которых гарантируются заданные требования на безусловные вероятности ошибок 1-го и 2-го рода.

Представлены результаты измерений толщины естественного оксида на кремниевой структуре, представляющей собой набор элементов (выступов) с трапецеидальным профилем, шагом 2 мкм, шириной верхнего основания 10 нм, высотой элементов 500 нм, наклон боковой стороны элемента относительно его основания 54,7^о. Вся структура покрыта естественным окислом, возникшим при комнатной температуре. Для обеспечения прослеживаемости измерений использовано расстояние между плоскостями {111} кремния.

Проведена оценка доверительных границ систематической погрешности измерения индивидуального потребления тепловой энергии при помощи оригинальной методики, основанной на использовании высокоточных интеллектуальных датчиков температуры с беспроводным интерфейсом.

Рассмотрен новый метод раздельного определения параметров двухэлементных двухполюсных электрических цепей по мгновенным значениям двух переходных процессов. Предложен вариант устройства, реализующего метод. Приведены результаты анализа влияния квантования мгновенных значений переходных процессов на погрешность измерения параметров.

Описан способ цифроаналогового преобразования, при котором существенно уменьшаются нелинейность характеристики и время установления по сравнению с классическим преобразованием на базе широтно-импульсной модуляции.