Предложен метод идентификации параметров, в частности импульсных переходных функций, в линейных системах с распределенными параметрами, представимых интегральными уравнениями первого рода.

Представлены результаты исследований влияния контаминации в РЭМ S-4800 на профиль рельефных элементов в монокристаллическом кремнии. Показано, что в результате облучения электронами с энергией 20 кэВ изменяется форма профиля рельефных элементов, рассмотрены зависимости их размерных параметров от дозы электронного облучения для разных режимов облучения.

Рассмотрен автоматизированный интерференционный микроскоп МИА-Д, предназначенный для измерения высоты профиля поверхности отражающих динамических объектов в микро- и нанодиапазонах, а также процессов в живых клетках.

Основываясь на результатах известных модельных исследований спектральной зависимости отражения радиации перистыми облаками исследована потенциально достижимая точность измерения суммарного количества водяных паров в атмосфере с помощью солнечного фотометра. Показано, что при наличии перистых облаков максимально возможное отношение сигнала к шуму при солнечно-фотометрических измерениях суммарного количества водяных паров соответствует минимально достижимой погрешности измерений, равной 0,04 – 0,05.

Описан один из аспектов отбраковки мощных МОП-транзисторов. Определен механизм открывания и предложена методика отбраковки транзисторов при наличии эффекта нежелательного открывания, связанного со скоростью нарастания напряжения сток–исток при его выключении.