NANOMETROLOGY
| Выпуск | Название | |
| № 8 (2012) | Влияние контаминации в растровых электронных микроскопах на профиль рельефных элементов в монокристаллическом кремнии | Аннотация PDF (Rus) |
| В. П. Гавриленко, А. Ю. Кузин, В. Б. Митюхляев, А. В. Раков, П. А. Тодуа, М. Н. Филиппов, В. А. Шаронов | ||
| 1 - 1 из 1 результатов | ||
