Рассмотрено повышение качества навигационных измерений при использовании пары измерителей. Показано, что парность обеспечивает возможность сравнения полученных результатов на всех этапах навигационных измерений. При этом соблюдается достоверность результатов, появляется возможность их геометрического аналитического описания и, как следствие, повышается точность измерений.

Оценена возможная разница значений ширины выступа, которая может возникнуть при измерении этой величины с помощью растрового и просвечивающего электронных микроскопов. Для обоих микроскопов оценён вклад потенциальных источников погрешности, способных привести к возможной разнице. Важнейшим источником является несовершенство модели линейных измерений для растрового электронного микроскопа. Измерения ширины с помощью просвечивающего микроскопа также приводят к погрешности. Погрешности возникают из-за множества деталей реальной формы профиля выступа, учёт влияния которых на значение ширины затруднён. В результате разница значений ширины, полученных исследуемыми микроскопами, может составить 1-20 нм.

Рассмотрен вариационный метод повышения точности аппаратуры для измерения параметров импеданса. Метод основан на вариациях коэффициентов влияния источников погрешности на результат измерений. Показано, что каждая вариация коэффициента влияния определённого источника погрешности сопровождается соответствующим измерением входной величины. Приведено решение системы уравнений, описывающей эти измерения и позволяющей получить точный результат. Описаны приборы различного назначения, построенные на основе вариационного метода.

Описаны реализации вариационного метода в трансформаторных мостах с индуктивно связанными плечами и в логометрических мостах, основанных на операционном усилителе с высоким коэффициентом усиления. Показано, что в трансформаторных мостах применение вариационного метода позволяет исключить влияние основных источников погрешности - импедансов соединительных кабелей и обмоток трансформатора, а в логометрических мостах с помощью этого метода можно устранить воздействие на результат измерений конечного коэффициента усиления операционного усилителя и его входного допуска. Теоретические и экспериментальные исследования показали, что вариационный метод позволяет уменьшить погрешность измерений в сотни и тысячи раз. Приведены метрологические данные измерителей импеданса, разработанных с использованием вариационных методов.