metrolМетрологияMetrologiya0132-47132712-9071ВНИИМСmetrol-287Research ArticleМЕХАНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯМетод уменьшения температурной погрешности тонкопленочных емкостных нанои микроэлектромеханических систем и датчиков на их основеБелозубовЕ. М.opto@bk.ruБелозубоваН. Е.opto@bk.ruВасильевВ. А.noemail@neicon.ruПензенский государственный университет, ПензаRussian FederationНаучно-исследовательский институт физических измерений, ПензаRussian Federation201207022023094150Copyright © ВНИИМС, 20232023ВНИИМСВНИИМСhttps://metrol.elpub.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://metrol.elpub.ru/jour/article/view/287

Предложен метод уменьшения температурной погрешности тонкопленочных емкостных нано- и микроэлектромеханических систем, а также датчиков на их основе.

The method of minimization of temperatures influences on capacitance thin-film nano- and microelectromechanical systems and sensors on the base is offered.

тонкопленочные емкостные нано- и микроэлектромеханические системыдатчик давлениятемператураthin-film capacitance nano-and microelectromechanical systems (N&MEMS)pressure sensortemperatureReferencesБелозубов Е. М., Васильев В. А. Нано- и микроэлектромеханические системы тонкопленочных датчиков давления. Принципы построения и перспективы использования // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2009. №. 9. С. 26 – 32.Белозубов Е. М., Васильев В. А. Нано- и микроэлектромеханические системы тонкопленочных датчиков давления. Принципы построения и перспективы использования // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2009. №. 9. С. 26 – 32.Белозубов Е. М., Васильев В. А, Громков Н. В. Тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы – основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники // Измерительная техника. 2009. № 7. С 35 – 38;Белозубов Е. М., Васильев В. А, Громков Н. В. Тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы – основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники // Измерительная техника. 2009. № 7. С 35 – 38;Belozubov E. M., Vasil’ev V. A., Gromkov N. V. Thin-film nano- and micro-electromechanical systems – the basis of contemporary and future pressure sensors for rocket and aviation engineering //Measurement Techniques. 2009. V. 52. N 7. P. 739 – 744.Belozubov E. M., Vasil’ev V. A., Gromkov N. V. Thin-film nano- and micro-electromechanical systems – the basis of contemporary and future pressure sensors for rocket and aviation engineering //Measurement Techniques. 2009. V. 52. N 7. P. 739 – 744.Белозубов Е. М., Васильев, В. А., Громков Н. В. Проблемы и основные направления исследований тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления // Датчики и cистемы. 2009. № 8. С. 54 – 58.Белозубов Е. М., Васильев, В. А., Громков Н. В. Проблемы и основные направления исследований тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления // Датчики и cистемы. 2009. № 8. С. 54 – 58.Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления // Нано-и микросистемная техника. 2008. № 10. С. 42 – 47.Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления // Нано-и микросистемная техника. 2008. № 10. С. 42 – 47.Белозубов Е. М, Белозубова Н. Е. Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур // Нано-и микросистемная техника. 2008. № 7. С. 41 – 44.Белозубов Е. М, Белозубова Н. Е. Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур // Нано-и микросистемная техника. 2008. № 7. С. 41 – 44.Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев, В. А. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе // Нано- и микросистемная техника. 2009. № 2. С. 33 – 39.Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев, В. А. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе // Нано- и микросистемная техника. 2009. № 2. С. 33 – 39.Пат. 2010197 РФ. Датчик давления / Е. М. Белозубов //Бюл. изобрет. 1994. № 6.Пат. 2010197 РФ. Датчик давления / Е. М. Белозубов //Бюл. изобрет. 1994. № 6.Пономарев С. Д., Андреева Л. Е. Расчет упругих элементов машин и приборов. М.: Машиностроение, 1980.Пономарев С. Д., Андреева Л. Е. Расчет упругих элементов машин и приборов. М.: Машиностроение, 1980.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.