Метод уменьшения температурной погрешности тонкопленочных емкостных нанои микроэлектромеханических систем и датчиков на их основе
Abstract
The method of minimization of temperatures influences on capacitance thin-film nano- and microelectromechanical systems and sensors on the base is offered.
About the Authors
Е. Белозубов
Пензенский государственный университет, Пенза
Russian Federation
Russian Federation
Н. Белозубова
Пензенский государственный университет, Пенза
Russian Federation
Russian Federation
В. Васильев
Научно-исследовательский институт физических измерений, Пенза
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Белозубов Е. М., Васильев В. А. Нано- и микроэлектромеханические системы тонкопленочных датчиков давления. Принципы построения и перспективы использования // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2009. №. 9. С. 26 – 32.
2. Белозубов Е. М., Васильев В. А, Громков Н. В. Тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы – основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники // Измерительная техника. 2009. № 7. С 35 – 38;
3. Belozubov E. M., Vasil’ev V. A., Gromkov N. V. Thin-film nano- and micro-electromechanical systems – the basis of contemporary and future pressure sensors for rocket and aviation engineering //Measurement Techniques. 2009. V. 52. N 7. P. 739 – 744.
4. Белозубов Е. М., Васильев, В. А., Громков Н. В. Проблемы и основные направления исследований тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления // Датчики и cистемы. 2009. № 8. С. 54 – 58.
5. Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления // Нано-и микросистемная техника. 2008. № 10. С. 42 – 47.
6. Белозубов Е. М, Белозубова Н. Е. Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур // Нано-и микросистемная техника. 2008. № 7. С. 41 – 44.
7. Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев, В. А. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе // Нано- и микросистемная техника. 2009. № 2. С. 33 – 39.
8. Пат. 2010197 РФ. Датчик давления / Е. М. Белозубов //Бюл. изобрет. 1994. № 6.
9. Пономарев С. Д., Андреева Л. Е. Расчет упругих элементов машин и приборов. М.: Машиностроение, 1980.
Review
For citations:
, , . Metrologiya. 2012;(9):41-50. (In Russ.)
Views:
52
