Нелинейность развертки растрового электронного микроскопа
Abstract
the maximum relative deviation from the mean value of the pitch of test structure does not exceed 0,4%.
About the Authors
В. Альзоба
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Гавриленко
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
А. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
А. Раков
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
П. Тодуа
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Russian Federation
Russian Federation
М. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова, Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. ГОСТ Р 8.628–2007. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерами выбору материала для изготовления.
Review
For citations:
, , , , , , . Metrologiya. 2012;(9):15-19. (In Russ.)
Views:
46
