Нелинейность развертки растрового электронного микроскопа
Аннотация
увеличении максимальное относительное отклонение от среднего значения шага тестовой структуры для использованного микроскопа не превышает 0,4 %.
Об авторах
В. В. Альзоба
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
В. П. Гавриленко
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
А. Ю. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
А. В. Раков
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. ГОСТ Р 8.628–2007. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерами выбору материала для изготовления.
Рецензия
Для цитирования:
Альзоба В.В., Гавриленко В.П., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Нелинейность развертки растрового электронного микроскопа. Метрология. 2012;(9):15-19.
Просмотров:
45
