Для цитирования:
Золотаревский С.Ю., Лысенко В.Г., Табачникова Н.А., Булыгин Ф.В., Гусев А.С., Лясковский В.Л. Специфика измерительных задач при анализе рельефа поверхностей в нанометровом диапазоне линейно-угловых размеров. Метрология. 2013;(2):41-52.