Специфика измерительных задач при анализе рельефа поверхностей в нанометровом диапазоне линейно-угловых размеров
Аннотация
Рассмотрены вопросы методического обеспечения контроля качества поверхности, измерения ее шероховатости, формы и взаимного расположения поверхностей, требующиеся на различных стадиях производства изделий микроэлектроники. Проанализированы специфические особенности измерительных задач, решаемых методами и средствами сканирующей зондовой микроскопии и 3D-интерферометрии высокого разрешения. Также указаны структурные особенности характеризации атомарно-чистых и реальных поверхностей.
Об авторах
С. Ю. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
В. Г. Лысенко
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
Н. А. Табачникова
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
Ф. В. Булыгин
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт), Москва
Россия
Россия
А. С. Гусев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
В. Л. Лясковский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Ковальчук М. В., Тодуа П. А. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях. М.: Техносфера, 2009.
2. Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии. Учеб. пособие /Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Изд-во Логос, 2011.
3. Тодуа П. А. Метрология и стандартизация в нанотехнологиях //Мир измерений. 2008. № 1. С. 4 – 10.
4. Бонч-Бруевич В. Л., Калашников С. Г. Физика полупроводников. М.: Наука, 1977.
5. ГОСТ 25142–82. Шероховатость поверхности. Термины и определения.
6. ГОСТ Р 8.631–2007. ГСИ. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методы поверки.
7. Практическая растровая электронная микроскопия /Под ред. Дж. Гоулдстейна, X. Яковица. М.: Мир, 1978.
8. ГОСТ 2789–73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики.
9. ГОСТ Р 8.700-2010. ГСИ. Методика измерений эффективной высоты шероховатости поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа.
10. ГОСТ 24642–81. Допуски формы и расположения поверхностей. Основные термины и определения.
11. Голубев C. C. Разработка и исследование методов и средств метрологического обслуживания сканирующих зондовых микроскопов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук. М., 2008.
12. Данилова М. А. и др. Тест-объект с шириной линии менее 10 нм для растровой электронной микроскопии.
13. Новиков Ю. А., Раков А. В, Тодуа П. А. Точность измерения линейных размеров на растровых электронных микроскопах в микро- и нанотехнологиях //Измерительная техника. 2008. № 6. С. 15 – 18;
14. Novikov Yu. A., Rakov A. V., Todua P. A. Linearity measurement in an atomic-force microscope. 2008. V. 51. N 6. P. 594 – 598.
15. Кононогов С. A., Голубев С. С., Лысенко В. Г. Исследование измерительных и калибровочных возможностей средств измерений нанометрового диапазона //Законодательная и прикладная метрология. 2008. № 3.
Рецензия
Для цитирования:
Золотаревский С.Ю., Лысенко В.Г., Табачникова Н.А., Булыгин Ф.В., Гусев А.С., Лясковский В.Л. Специфика измерительных задач при анализе рельефа поверхностей в нанометровом диапазоне линейно-угловых размеров. Метрология. 2013;(2):41-52.
Просмотров:
34
