Ареальные методы анализа топографии и текстуры поверхности в микронанометровом диапазонах
Аннотация
Проанализированы материалы и международные нормативно-методические документы, посвященные методам ареальной (зонной) характеризации топографии и текстуры шероховатой поверхности. Рассмотрены вопросы применения специальных фильтров, призванных устранять нежелательные компоненты измеряемой поверхности. Показан современный стандартизованный подход к разделению шероховатости и волнистости на первичной (основной) поверхности.
Об авторах
С. А. Кононогов
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
С. Ю. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
Ф. В. Булыгин
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт), Москва
Россия
Россия
В. Н. Крутиков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
В. Л. Лясковский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Leach R. K. Fundamental Principles of Engineеring Nanometrology //Elsevier Science & Technology. 2010. P. 315.
2. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях /Под ред. М. В.Ковальчука, П. А.Тодуа. М.: Техносфера, 2009.
3. ISO/DIS 25178:2007. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Areal – Pt. 71: Software measurement standards.
4. ISO/DIS 25178:2008. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Areal. Pt. 6: Classification of methods for measuring surface texture.
5. ISO 4287:2000. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Profile method – Terms, definitions and surface texture parameters.
Рецензия
Для цитирования:
Кононогов С.А., Золотаревский С.Ю., Булыгин Ф.В., Крутиков В.Н., Лясковский В.Л. Ареальные методы анализа топографии и текстуры поверхности в микронанометровом диапазонах. Метрология. 2013;(2):13-24.
Просмотров:
54
