metrolМетрологияMetrologiya0132-47132712-9071ВНИИМСmetrol-263Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯАреальные методы анализа топографии и текстуры поверхности в микронанометровом диапазонахКононоговС. А.noemail@neicon.ruЗолотаревскийС. Ю.s.zolotarevskiy@vniims.ruБулыгинФ. В.noemail@neicon.ruКрутиковВ. Н.noemail@neicon.ruЛясковскийВ. Л.noemail@neicon.ruВсероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, МоскваRussian FederationФедеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт), МоскваRussian FederationВсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, МоскваRussian Federation201307022023021324Copyright © ВНИИМС, 20232023ВНИИМСВНИИМСhttps://metrol.elpub.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://metrol.elpub.ru/jour/article/view/263

Проанализированы материалы и международные нормативно-методические документы, посвященные методам ареальной (зонной) характеризации топографии и текстуры шероховатой поверхности. Рассмотрены вопросы применения специальных фильтров, призванных устранять нежелательные компоненты измеряемой поверхности. Показан современный стандартизованный подход к разделению шероховатости и волнистости на первичной (основной) поверхности.

The analysis of review materials and international normative-methodical documents devoted to methods of the areal (zone) characterization of topography and textures of rough surface. The issues of application of special filters for elimination of undesirable transverse components of the measurement surface are considered. The modern standardized approach to separation of roughness and waviness components on the primary (basic) surface is shown.

ареальные методыхарактеризация и текстура поверхности3D-топограммаareal methodscharacterization and texture of surface3D topographyReferencesLeach R. K. Fundamental Principles of Engineеring Nanometrology //Elsevier Science & Technology. 2010. P. 315.Leach R. K. Fundamental Principles of Engineеring Nanometrology //Elsevier Science & Technology. 2010. P. 315.Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях /Под ред. М. В.Ковальчука, П. А.Тодуа. М.: Техносфера, 2009.Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях /Под ред. М. В.Ковальчука, П. А.Тодуа. М.: Техносфера, 2009.ISO/DIS 25178:2007. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Areal – Pt. 71: Software measurement standards.ISO/DIS 25178:2007. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Areal – Pt. 71: Software measurement standards.ISO/DIS 25178:2008. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Areal. Pt. 6: Classification of methods for measuring surface texture.ISO/DIS 25178:2008. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Areal. Pt. 6: Classification of methods for measuring surface texture.ISO 4287:2000. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Profile method – Terms, definitions and surface texture parameters.ISO 4287:2000. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Profile method – Terms, definitions and surface texture parameters.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.