Анализ методов сверхразрешения в оптической интерференционной микроскопии
Abstract
The article is devoted to the methods of superresolution in the optical interference microscopy applied to the measurement parameters of topography and surface texture in the nanometer range. It is shown that the resolution of the microscope is determined not by the properties of the hardware unit, but accuracy of measurement of the output signal.
About the Authors
Ф. Булыгин
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (РОССТАНДАРТ)
Russian Federation
Russian Federation
С. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation
Russian Federation
С. Кононогов
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation
Russian Federation
Я. Илюшин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
Л. Лясковский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970.
2. Виноградова М. Б., Руденко О. В., Сухоруков А. П. Теория волн. М.: Наука, 1990.
3. Вишняков Г. Н., Левин Г. Г., Минаев В. Л. Томографическая микроскопия трехмерных фазовых объектов в пространственно-некогерентном свете // Оптика и спектроскопия. 2003. Т. 95. № 1. С. 142–146.
4. Илюшин Я. А. и др. Численное моделирование процедуры восстановления рельефа оптической поверхности с учетом рассеяния излучения на наноструктурах // Метрология. 2010. № 2. С. 3–12.
5. Илюшин Я. А. и др. Моделирование процессов рассеяния оптического излучения нанообъектами с конечными диэлектрической проницаемостью и проводимостью // Метрология. 2010. № 1. С. 10–22.
6. Левин Г. Г. и др. Определение наноперемещений объекта по оптическому фазовому изображению // Измерительная техника. 2010. № 7. С. 38–42; Levin G. G. е. а. Measurement of nanomovements of an object from the optical phase image // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N. 7. P. 782–788.
7. Левин Г. Г. и др. Моделирование процессов рассеяния оптического излучения наноразмерными структурами // Метрология. 2009. № 12. C. 7–13.
8. Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Учеб. пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.
9. Gustafsson, M. G. L, Agard D. A., Sedat J. W. I5M: 3D-widefield light microscopy with better than 100 nm axial resolution // Journal of Microscopy. 1999. V. 195. Part 1. P. 10–16.
10. Hell S. W. e. a. Diffraction-unlimited three-dimensional optical nanoscopy with opposing lenses // Nature Photonics. 2009. V. 3. P. 381–387.
11. Morgan S. P. е. а. Interferometric optical microscopy of subwavelength grooves// Optics Communications. 2001. V. 187. P. 29–38.
Review
For citations:
, , , , , . Metrologiya. 2013;(8):22-30. (In Russ.)
Views:
56
