Для цитирования:

Заблоцкий А.В., Шаронов В.А., Бормашов В.С., Батурин А.С., Тодуа П.А. Определение нелинейности емкостных датчиков по оси Z атомно-силового микроскопа. Метрология. 2013;(3):18-21.