Исследована нелинейность емкостных датчиков по оси Z атомно-силового микроскопа с использованием тестовых структур, содержащих элементы рельефа высотой 300 – 1200 нм. Установлена зависимость измеряемых итоговых измерений высоты от величины перемещения трубчатого пьезосканера в диапазоне 10 – 90 % от максимально возможного значения. Выявлено, что нелинейность емкостных датчиков перемещений в направлении, перпендикулярном к исследуемой поверхности составляет 1,5 – 3 %.
The nonlinearity of capacity sensors along the Z -axis of atomic force microscope was studied using test structures with relief elements of a height of 300 – 1200 nm. The dependence of height measurements results from tubular piezo-scanner displacement value is established in the range of 10 – 90 % of maximum displacement. It was revealed that the nonlinearity of capacity displacement sensors is 1,5 – 3 % normal to the investigated surface direction.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.