сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Подсистема управления технологическим процессом производства интегральных схем
Аннотация
Рассмотрены проблемы организации производства интегральных схем. Разработана подсистема управления технологическими процессами производства пробных партий интегральных схем для дальнейшей организации серийного производства. При производстве интегральных схем предложено применять модуль оптимизации технологических процессов для построения математической модели с учётом причинно-следственных связей между показателями качества элементов схем.
Об авторах
И. Я. Львович
Панъевропейский университет
Россия
Россия
Я. Е. Львович
Воронежский институт высоких технологий
Россия
Россия
А. П. Преображенский
Воронежский институт высоких технологий
Россия
Россия
О. Н. Чопоров
Воронежский государственный технический университет
Россия
Россия
Д. В. Салеев
Воронежский институт высоких технологий
Россия
Россия
Список литературы
1. Павловский В. В., Васильев В. И., Гутман Т. Н. Проектирование технологических процессов изготовления РЭА. М.: Академия, 2013.
2. Дорошевич К. К., Попов В. Н., Стрижков С. А. Методика статистического контроля технологических процессов изготовления интегральных микросхем для партий малого объема при прерывистом производстве // Микроэлектроника. 2002. № 2. С. 152-160.
3. Клячкин В. Н. Модели и методы статистического контроля многопараметрического технологического процесса. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2011.
4. Соболь И. М. Выбор оптимальных параметров в задачах со многими критериями. М.: Дрофа, 2006.
5. Семенкин Е. С., Семенкина О. Э., Коробейников С. П. Оптимизация технических систем. Учебное пособие. Красноярск: СИБУП, 1996.
6. Лисьев Г. А., Попова И. В. Технологии поддержки принятия решений: учеб. пособие. М.: ФЛИНТА, 2011.
7. Томас Ф. САПР микроэлектроники. Этапы большого пути // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2006. №3. С. 82-85.
8. Меньков А. В., Острейковский В. А. Теоретические основы автоматизированного управления. М.: Оникс, 2005.
9. Преображенский А. П., Юров Р. П. САПР современных радиоэлектронных устройств и систем // Вестник Воронежского государственного технического университета. 2006. Т. 2. № 3. С. 35-37.
10. Черноруцкий И. Г. Методы оптимизации. Компьютерные технологии. СПб.: БХВ-Петербург, 2011.
Рецензия
Для цитирования:
Львович И.Я., Львович Я.Е., Преображенский А.П., Чопоров О.Н., Салеев Д.В. Подсистема управления технологическим процессом производства интегральных схем. Метрология. 2017;(2):3-9.
Просмотров:
47
