<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.3 20210610//EN" "JATS-journalpublishing1-3.dtd">
<article article-type="research-article" dtd-version="1.3" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xml:lang="ru"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">metrol</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="ru">Метрология</journal-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Metrologiya</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn pub-type="ppub">0132-4713</issn><issn pub-type="epub">2712-9071</issn><publisher><publisher-name>ВНИИМС</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id custom-type="elpub" pub-id-type="custom">metrol-99</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="heading"><subject>Research Article</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="ru"><subject>ОБЩИЕ ВОПРОСЫ МЕТРОЛОГИИ И ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ТЕХНИКИ</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title>Подсистема управления технологическим процессом производства интегральных схем</article-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title></trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Львович</surname><given-names>И. Я.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Львович</surname><given-names>Я. Е.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Преображенский</surname><given-names>А. П.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Чопоров</surname><given-names>О. Н.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">app@vivt.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-3"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Салеев</surname><given-names>Д. В.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib></contrib-group><aff xml:lang="ru" id="aff-1"><institution>Панъевропейский университет</institution><country>Russian Federation</country></aff><aff xml:lang="ru" id="aff-2"><institution>Воронежский институт высоких технологий</institution><country>Russian Federation</country></aff><aff xml:lang="ru" id="aff-3"><institution>Воронежский государственный технический университет</institution><country>Russian Federation</country></aff><pub-date pub-type="collection"><year>2017</year></pub-date><pub-date pub-type="epub"><day>07</day><month>02</month><year>2023</year></pub-date><volume>0</volume><issue>2</issue><fpage>3</fpage><lpage>9</lpage><permissions><copyright-statement>Copyright &amp;#x00A9; ВНИИМС, 2023</copyright-statement><copyright-year>2023</copyright-year><copyright-holder xml:lang="ru">ВНИИМС</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="en">ВНИИМС</copyright-holder><license xlink:href="https://metrol.elpub.ru/jour/about/submissions#copyrightNotice" xlink:type="simple"><license-p>https://metrol.elpub.ru/jour/about/submissions#copyrightNotice</license-p></license></permissions><self-uri xlink:href="https://metrol.elpub.ru/jour/article/view/99">https://metrol.elpub.ru/jour/article/view/99</self-uri><abstract><p>Рассмотрены проблемы организации производства интегральных схем. Разработана подсистема управления технологическими процессами производства пробных партий интегральных схем для дальнейшей организации серийного производства. При производстве интегральных схем предложено применять модуль оптимизации технологических процессов для построения математической модели с учётом причинно-следственных связей между показателями качества элементов схем.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="en"><p>In the paper the problems, arising during the organization of production of integrated circuits. The management and control subsystem of the production process of test integrated circuits parties for further organization of mass production is developed. The proposals for use of the module of process optimization of technological processes are given. This module conducts construction of a mathematical model for the production of integrated circuits based on cause-and-effect relationships between parameters of the quality elements.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>технологический процесс</kwd><kwd>интегральная схема</kwd><kwd>контроль производства</kwd><kwd>оптимизация</kwd><kwd>technological process</kwd><kwd>integrated circuit</kwd><kwd>process control optimization</kwd></kwd-group></article-meta></front><back><ref-list><title>References</title><ref id="cit1"><label>1</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Павловский В. В., Васильев В. И., Гутман Т. Н. Проектирование технологических процессов изготовления РЭА. М.: Академия, 2013.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Павловский В. В., Васильев В. И., Гутман Т. Н. Проектирование технологических процессов изготовления РЭА. М.: Академия, 2013.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit2"><label>2</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Дорошевич К. К., Попов В. Н., Стрижков С. А. Методика статистического контроля технологических процессов изготовления интегральных микросхем для партий малого объема при прерывистом производстве // Микроэлектроника. 2002. № 2. С. 152-160.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Дорошевич К. К., Попов В. Н., Стрижков С. А. Методика статистического контроля технологических процессов изготовления интегральных микросхем для партий малого объема при прерывистом производстве // Микроэлектроника. 2002. № 2. С. 152-160.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit3"><label>3</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Клячкин В. Н. Модели и методы статистического контроля многопараметрического технологического процесса. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2011.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Клячкин В. Н. Модели и методы статистического контроля многопараметрического технологического процесса. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2011.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit4"><label>4</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Соболь И. М. Выбор оптимальных параметров в задачах со многими критериями. М.: Дрофа, 2006.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Соболь И. М. Выбор оптимальных параметров в задачах со многими критериями. М.: Дрофа, 2006.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit5"><label>5</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Семенкин Е. С., Семенкина О. Э., Коробейников С. П. Оптимизация технических систем. Учебное пособие. Красноярск: СИБУП, 1996.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Семенкин Е. С., Семенкина О. Э., Коробейников С. П. Оптимизация технических систем. Учебное пособие. Красноярск: СИБУП, 1996.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit6"><label>6</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Лисьев Г. А., Попова И. В. Технологии поддержки принятия решений: учеб. пособие. М.: ФЛИНТА, 2011.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Лисьев Г. А., Попова И. В. Технологии поддержки принятия решений: учеб. пособие. М.: ФЛИНТА, 2011.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit7"><label>7</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Томас Ф. САПР микроэлектроники. Этапы большого пути // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2006. №3. С. 82-85.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Томас Ф. САПР микроэлектроники. Этапы большого пути // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2006. №3. С. 82-85.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit8"><label>8</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Меньков А. В., Острейковский В. А. Теоретические основы автоматизированного управления. М.: Оникс, 2005.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Меньков А. В., Острейковский В. А. Теоретические основы автоматизированного управления. М.: Оникс, 2005.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit9"><label>9</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Преображенский А. П., Юров Р. П. САПР современных радиоэлектронных устройств и систем // Вестник Воронежского государственного технического университета. 2006. Т. 2. № 3. С. 35-37.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Преображенский А. П., Юров Р. П. САПР современных радиоэлектронных устройств и систем // Вестник Воронежского государственного технического университета. 2006. Т. 2. № 3. С. 35-37.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit10"><label>10</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Черноруцкий И. Г. Методы оптимизации. Компьютерные технологии. СПб.: БХВ-Петербург, 2011.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Черноруцкий И. Г. Методы оптимизации. Компьютерные технологии. СПб.: БХВ-Петербург, 2011.</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list><fn-group><fn fn-type="conflict"><p>The authors declare that there are no conflicts of interest present.</p></fn></fn-group></back></article>
