Интерференционный профилометр для измерения формы поверхности отражающих объектов
Abstract
Interference computer profilometer PIC-30M developed by All-Russian Research Institute of Optical and Physical Measurements (VNIIOFI) is presented. Profilometer is designed to measure the height of the surface profile of reflective objects in the micro- and nanoscale, the curvature radius of the spherical mirror from 2000 to 7000 mm. The diameter of the objects not exceeding 30 mm.
About the Authors
В. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Russian Federation
Russian Federation
Г. Вишняков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Минаев В. Л., Ломакин А. Г. Интерференционный компьютерный профилометр // Фотометрия и ее метрологическое обеспечение: Тезисы докл. XVIII науч.-техн. конф. М., 2005. С. 123.
2. Ломакин А. Г., Минаев В. Л. Интерференционная профилометрия зеркально-отражающих поверхностей // Измерительная техника. 2006. № 12. С. 16 – 18;
3. Lomakin A. G., Minaev V. L. Interference profiling of specularly reflecting surfaces //Measurement Techniques. 2006. V. 49. N 12. P. 1194 – 1197.
Review
For citations:
, . Metrologiya. 2012;(9):20-23. (In Russ.)
Views:
59
