Ареальные методы анализа топографии и текстуры поверхности в микронанометровом диапазонах
Abstract
The analysis of review materials and international normative-methodical documents devoted to methods of the areal (zone) characterization of topography and textures of rough surface. The issues of application of special filters for elimination of undesirable transverse components of the measurement surface are considered. The modern standardized approach to separation of roughness and waviness components on the primary (basic) surface is shown.
About the Authors
С. Кононогов
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
С. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
Ф. Булыгин
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт), Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Крутиков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Лясковский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Leach R. K. Fundamental Principles of Engineеring Nanometrology //Elsevier Science & Technology. 2010. P. 315.
2. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях /Под ред. М. В.Ковальчука, П. А.Тодуа. М.: Техносфера, 2009.
3. ISO/DIS 25178:2007. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Areal – Pt. 71: Software measurement standards.
4. ISO/DIS 25178:2008. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Areal. Pt. 6: Classification of methods for measuring surface texture.
5. ISO 4287:2000. Geometrical product specification (GPS) –Surface texture: Profile method – Terms, definitions and surface texture parameters.
Review
For citations:
, , , , . Metrologiya. 2013;(2):13-24. (In Russ.)
Views:
58
