Методология характеризации рельефа 3D-поверхности по ее профильным и топографическим параметрам в нанометровом диапазоне
Abstract
The analytical survey of materials on the uniformity of measurements assurance and on the surface relief and roughness characteristics in micro- and nanometer ranges is carried out. The significant distinctions in topographic and profile estimations of probability characteristics of surface relief parameters were revealed. The comparison of the number of measurements necessary for achieving the given accuracy with the credibility value of microphotographic and profile parameters is carried out.
About the Authors
С. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
С. Кононогов
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Лысенко
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
Н. Табачникова
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
Г. Левин
сероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Арутюнов П. А. и др. Феноменологические характеристики для анализа шероховатости и микрорельефа поверхности материалов в сканирующей зондовой микроскопии //Методы и техника измерений. 1999. № 6. C. 89 – 93.
2. Белов В. К. Параметры шероховатости поверхностей и их контроль: Учеб. пособие. Магнитогорск: Изд-во МГМИ, 1990.
3. ГОСТ Р 8.629–2007. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.
4. Ковальчук М. В., Тодуа П. А. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях. М.: Техносфера, 2009.
5. Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Уч. пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.
6. Leach R. Fundamental Principles of Engineering Nanometrology Elsevier Inc., 2010.
7. Линник В. П. Прибор для интерференционного исследования микропрофиля поверхности – «микропрофилометр» // ДАН СССР. 1945. Т. 47. № 9. С. 656 – 657.
8. Хусу А. П., Витенберг Ю. Р., Пальмов В. А. Шероховатость поверхностей теоретико-вероятностный подход. М.: Наука, 1975.
9. Бараш В. Я., Резников А. Л. Применение образцовых вибраторов для метрологической аттестации контактных средств измерений шероховатости поверхности //Измерительная техника. 1983. № 8 С. 43 – 45.
10. Дунин-Барковский И. В., Карташова А. H. Измерения и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. М: Машиностроение, 1978.
Review
For citations:
, , , , . Metrologiya. 2013;(2):4-12. (In Russ.)
Views:
37
