Методология характеризации рельефа 3D-поверхности по ее профильным и топографическим параметрам в нанометровом диапазоне
Аннотация
Приведен аналитический обзор материалов, посвященных вопросам обеспечения единства измерений параметров и характеристик рельефа и шероховатости поверхности в микро- и нанометровом диапазонах. Выявлены существенные различия в топографической и профильной оценках вероятностных характеристик параметров рельефа поверхности. Проведено сравнение необходимого числа измерений для получения заданной точности и степени достоверности микротопографических и профильных параметров.
Об авторах
С. Ю. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
С. А. Кононогов
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
В. Г. Лысенко
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
Н. А. Табачникова
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
Г. Г. Левин
сероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Арутюнов П. А. и др. Феноменологические характеристики для анализа шероховатости и микрорельефа поверхности материалов в сканирующей зондовой микроскопии //Методы и техника измерений. 1999. № 6. C. 89 – 93.
2. Белов В. К. Параметры шероховатости поверхностей и их контроль: Учеб. пособие. Магнитогорск: Изд-во МГМИ, 1990.
3. ГОСТ Р 8.629–2007. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.
4. Ковальчук М. В., Тодуа П. А. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях. М.: Техносфера, 2009.
5. Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Уч. пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.
6. Leach R. Fundamental Principles of Engineering Nanometrology Elsevier Inc., 2010.
7. Линник В. П. Прибор для интерференционного исследования микропрофиля поверхности – «микропрофилометр» // ДАН СССР. 1945. Т. 47. № 9. С. 656 – 657.
8. Хусу А. П., Витенберг Ю. Р., Пальмов В. А. Шероховатость поверхностей теоретико-вероятностный подход. М.: Наука, 1975.
9. Бараш В. Я., Резников А. Л. Применение образцовых вибраторов для метрологической аттестации контактных средств измерений шероховатости поверхности //Измерительная техника. 1983. № 8 С. 43 – 45.
10. Дунин-Барковский И. В., Карташова А. H. Измерения и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. М: Машиностроение, 1978.
Рецензия
Для цитирования:
Золотаревский С.Ю., Кононогов С.А., Лысенко В.Г., Табачникова Н.А., Левин Г.Г. Методология характеризации рельефа 3D-поверхности по ее профильным и топографическим параметрам в нанометровом диапазоне. Метрология. 2013;(2):4-12.
Просмотров:
38
