Анализ неопределенностей, обусловленных методическими и инструментальными погрешностями интерферометрии параметров рельефа и формы поверхности.
Abstract
The results of analysis of methodical and instrumental errors unavoidable at measuring the surface relief and forms parameters by methods of 3D-interferometry with reference wave front and lateral shift interferometry are presented. It is noted that the largest contribution to total methodical error make the errors of measurements of current interference orders while the errors of current coordinates and shift measurement are negligible. The total error of the method of approximate integration is related to the interpolation error and depends on the surface shape.
About the Authors
Д. Новиков
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation
Russian Federation
С. Кононогов
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation
Russian Federation
С. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation
Russian Federation
Г. Вишняков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерениЙ
Russian Federation
Russian Federation
А. Гусев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерениЙ
Russian Federation
Russian Federation
Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерениЙ
Russian Federation
Russian Federation
В. Лясковский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Вишняков Г. Н. и др. Методы автоматизации обработки интерферограмм фазовых объектов // Метрология. №4 2008, С. 15–25.
2. Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Учебное пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.
3. ГОСТ Р 8.743–2011. ГСИ. Оптика и фотоника. Интерференционные измерения оптических элементов и систем. Часть 1. Термины, определения и основные соотношения.
4. Leach R. K. Fundamental principles of engineеring nanometrology. N. Y.: Elsevier Science & Technology, 2010.
5. Dotson С. Fundamentals of dimensional metrology. N.Y.: Delmar Learning, 2006.
6. ГОСТ Р 8.629–2007 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.
7. ГОСТ Р 8.596-2002. Метрологическое обеспечение измерительных систем. Основные положения.
8. Кононогов С. А., Голубев С. С., Лысенко В. Г. Исследование измерительных и калибровочных возможностей средств измерений нанометрового диапазона // Законодательная и прикладная метрология. 2008. № 3. С. 19–26.
Review
For citations:
, , , , , , . Metrologiya. 2013;(8):31-37. (In Russ.)
Views:
53
