Специфика формирования неопределенности измерений геометрических параметров рельефа поверхности методами интерферометрии высокого разрешения
Abstract
The mechanism of formation of the uncertainty budget measurements of topography and shape of the surface in nanometer range applicadle for the typical optical circuits of the Twyman–Green and Fizeau interferometers is considered. It is noted that in the most of known works the differential (difference) method of measurements is realized. The amplitude and the phase-amplitude interference methods of coordinate measurement of the surface shaped eflection are considered.
Keywords
интерферометр,
характеризация и текстура поверхности,
дифференциальный (разностный) метод измерений,
амплитудный и амплитудно-фазовый интерференционные методы,
interferometer,
characterization and surface texture,
differential (difference) measurement method,
amplitude and the phase-amplitude interference methods
About the Authors
С. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation
Russian Federation
С. Кононогов
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation
Russian Federation
В. Лысенко
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation
Russian Federation
Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
В. Лясковский
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
А. Гусев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
С. Голубев
Росстандарт
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Учебное пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.
2. ГОСТ Р 8.629–2007 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.
3. Dotson С. Fundamentals of dimensional metrology. N.Y.: Delmar Learning, 2006.
4. Leach R. K. Fundamental principles of engineеring nanometrology. N. Y.: Elsevier Science & Technology, 2010.
5. ГОСТ Р 8.743–2011. ГСИ. Оптика и фотоника. Интерференционные измерения оптических элементов и систем. Часть 1. Термины, определения и основные соотношения.
6. Левин Г. Г., Золотаревский С. Ю. Количественная фазовая микроскопия на основе принципов интерференционной рефрактометрии // Метрология, № 3 2008, стр. 1521.
7. Кононогов С. А., Голубев С. С., Лысенко В. Г. Исследование измерительных и калибровочных возможностей средств измерений нанометрового диапазона // Законодательная и прикладная метрология. 2008. № 3. С. 19–26.
Review
For citations:
, , , , , , . Metrologiya. 2013;(8):11-21. (In Russ.)
Views:
37
