Определение нелинейности емкостных датчиков по оси Z атомно-силового микроскопа
Abstract
The nonlinearity of capacity sensors along the Z -axis of atomic force microscope was studied using test structures with relief elements of a height of 300 – 1200 nm. The dependence of height measurements results from tubular piezo-scanner displacement value is established in the range of 10 – 90 % of maximum displacement. It was revealed that the nonlinearity of capacity displacement sensors is 1,5 – 3 % normal to the investigated surface direction.
About the Authors
А. Заблоцкий
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Шаронов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Бормашов
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Russian Federation
Russian Federation
А. Батурин
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Russian Federation
Russian Federation
П. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Binning G., Quate C. F., Gerber Ch. //Phys. Rev. Lett. 1986. V. 56. P. 930.
2. Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Н. Новгород: Изд-во ИФМ РАН, 2004.
3. Дедкова Е. Г. и др. Приборы и методы зондовой микроскопии. М.: Изд-во Можайский полиграфический комбинат, 2011.
4. Новиков Ю. А., Раков А. В., Тодуа П. А. Калибровка атомно-силовых микроскопов //Известия РАН. Сер. физическая. 2009. Т. 73. № 4. С. 473 – 484.
5. ГОСТ Р 8.635–2007. ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки.
6. Suzuki M. Standardized procedure for calibrating height scales in atomic force microscopy on the order of 1 nm // J. Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 1996. V. 14. N I13. P. 1228 – 1232.
7. Новиков Ю. А. и др. Линейная мера микрометрового и нанометрового диапазонов для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии // Труды ИОФАН. 2006. T. 62. С. 36 – 76.
Review
For citations:
, , , , . Metrologiya. 2013;(3):18-21. (In Russ.)
Views:
47
