Определение нелинейности емкостных датчиков по оси Z атомно-силового микроскопа
Аннотация
Исследована нелинейность емкостных датчиков по оси Z атомно-силового микроскопа с использованием тестовых структур, содержащих элементы рельефа высотой 300 – 1200 нм. Установлена зависимость измеряемых итоговых измерений высоты от величины перемещения трубчатого пьезосканера в диапазоне 10 – 90 % от максимально возможного значения. Выявлено, что нелинейность емкостных датчиков перемещений в направлении, перпендикулярном к исследуемой поверхности составляет 1,5 – 3 %.
Об авторах
А. В. Заблоцкий
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
В. А. Шаронов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
В. С. Бормашов
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Россия
Россия
А. С. Батурин
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Binning G., Quate C. F., Gerber Ch. //Phys. Rev. Lett. 1986. V. 56. P. 930.
2. Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Н. Новгород: Изд-во ИФМ РАН, 2004.
3. Дедкова Е. Г. и др. Приборы и методы зондовой микроскопии. М.: Изд-во Можайский полиграфический комбинат, 2011.
4. Новиков Ю. А., Раков А. В., Тодуа П. А. Калибровка атомно-силовых микроскопов //Известия РАН. Сер. физическая. 2009. Т. 73. № 4. С. 473 – 484.
5. ГОСТ Р 8.635–2007. ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки.
6. Suzuki M. Standardized procedure for calibrating height scales in atomic force microscopy on the order of 1 nm // J. Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 1996. V. 14. N I13. P. 1228 – 1232.
7. Новиков Ю. А. и др. Линейная мера микрометрового и нанометрового диапазонов для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии // Труды ИОФАН. 2006. T. 62. С. 36 – 76.
Рецензия
Для цитирования:
Заблоцкий А.В., Шаронов В.А., Бормашов В.С., Батурин А.С., Тодуа П.А. Определение нелинейности емкостных датчиков по оси Z атомно-силового микроскопа. Метрология. 2013;(3):18-21.
Просмотров:
43
