ИЗМЕРИТЕЛЬНО-КАЛИБРОВОЧНАЯ УСТАНОВКА НА БАЗЕ БОЛЬШЕПОЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ ФИЗО
Аннотация
Представлено описание измерительно-калибровочной установки для высокоточного оптического бесконтактного контроля на базе большепольной интерферометрии Физо, предназначенной для контроля отклонений от плоскостности прецизионных оптических поверхностей. Рассмотрено программное обеспечение, позволяющее восстановить форму оптической детали из интерферограмм.
Об авторах
Г. Н. Вишняков
сероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
С. Ю. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
Д. А. Новиков
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Кривовяз Л. М., Пуряев Д. Т., Знаменская М. А. Практика оптической измерительной лаборатории. М : Машиностроение, 1974.
2. Малакара Д. Оптический производственный контроль /Пер. с англ. Е. В. Мазуровой и др. М.: Машиностроение, 1985.
3. Коломийцев Ю. В. Интерферометры. М.: Машиностроение, 1976.
4. Скоков И. В. Оптические интерферометры. М.: Машиностроение, 1969.
5. Бекетова А. К. и др. Топографическая интерферометрия фазовых объектов. М.: Наука, 1979.
6. Ковалев А. А., Сухоруков К. А. Восстановление формы волнового фронта при больших изменениях фазы //Измерительная техника. 2004. № 4. С. 17 - 19.
7. Белл Р. Введение в Фурье-спектроскопию. М.: Мир, 1975.
8. Ценсор Я. Методы реконструкции изображений, основанные на разложении в конечные ряды // ТИИЭР. 1983. Т. 71. №№ 3. С. 148 - 160.
Рецензия
Для цитирования:
Вишняков Г.Н., Золотаревский С.Ю., Новиков Д.А. ИЗМЕРИТЕЛЬНО-КАЛИБРОВОЧНАЯ УСТАНОВКА НА БАЗЕ БОЛЬШЕПОЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ ФИЗО. Метрология. 2012;(12):17-24.
Просмотров:
48
