metrolМетрологияMetrologiya0132-47132712-9071ВНИИМСmetrol-145Research ArticleОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯИЗМЕРИТЕЛЬНО-КАЛИБРОВОЧНАЯ УСТАНОВКА НА БАЗЕ БОЛЬШЕПОЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ ФИЗОВишняковГ. Н.moiseev@vniiofi.ruЗолотаревскийС. Ю.noemail@neicon.ruНовиковД. А.noemail@neicon.ruсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, МоскваRussian FederationВсероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, МоскваRussian Federation2012070220230121724Copyright © ВНИИМС, 20232023ВНИИМСВНИИМСhttps://metrol.elpub.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://metrol.elpub.ru/jour/article/view/145

Представлено описание измерительно-калибровочной установки для высокоточного оптического бесконтактного контроля на базе большепольной интерферометрии Физо, предназначенной для контроля отклонений от плоскостности прецизионных оптических поверхностей. Рассмотрено программное обеспечение, позволяющее восстановить форму оптической детали из интерферограмм.

The description of measurement and calibration installation for high-precision non-contact optical control based on Fizeau wide-field interferometry is presented. The unit is designed to control the flatness error of precision optical surfaces. The software allowing to restore the shape of the optical part by interferograms analysis is considered.

большепольная интерферометрия Физометод фазовых шаговотклонения от плоскостностиFizeau wide-field interferometryphase steps methodflatness errorReferencesКривовяз Л. М., Пуряев Д. Т., Знаменская М. А. Практика оптической измерительной лаборатории. М : Машиностроение, 1974.Кривовяз Л. М., Пуряев Д. Т., Знаменская М. А. Практика оптической измерительной лаборатории. М : Машиностроение, 1974.Малакара Д. Оптический производственный контроль /Пер. с англ. Е. В. Мазуровой и др. М.: Машиностроение, 1985.Малакара Д. Оптический производственный контроль /Пер. с англ. Е. В. Мазуровой и др. М.: Машиностроение, 1985.Коломийцев Ю. В. Интерферометры. М.: Машиностроение, 1976.Коломийцев Ю. В. Интерферометры. М.: Машиностроение, 1976.Скоков И. В. Оптические интерферометры. М.: Машиностроение, 1969.Скоков И. В. Оптические интерферометры. М.: Машиностроение, 1969.Бекетова А. К. и др. Топографическая интерферометрия фазовых объектов. М.: Наука, 1979.Бекетова А. К. и др. Топографическая интерферометрия фазовых объектов. М.: Наука, 1979.Ковалев А. А., Сухоруков К. А. Восстановление формы волнового фронта при больших изменениях фазы //Измерительная техника. 2004. № 4. С. 17 - 19.Ковалев А. А., Сухоруков К. А. Восстановление формы волнового фронта при больших изменениях фазы //Измерительная техника. 2004. № 4. С. 17 - 19.Белл Р. Введение в Фурье-спектроскопию. М.: Мир, 1975.Белл Р. Введение в Фурье-спектроскопию. М.: Мир, 1975.Ценсор Я. Методы реконструкции изображений, основанные на разложении в конечные ряды // ТИИЭР. 1983. Т. 71. №№ 3. С. 148 - 160.Ценсор Я. Методы реконструкции изображений, основанные на разложении в конечные ряды // ТИИЭР. 1983. Т. 71. №№ 3. С. 148 - 160.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.