Определение эффективного радиуса острия зонда атомно-силового микроскопа с использованием монодисперсных наночастиц оксида кремния
Abstract
A method of creation of samples of monodisperse ensemble of spherical silicon oxide nanoparticles with diameter of (26,6±3,5) nm uniformly distributed on the 1 cm2 surface of single-crystal silicon substrate with average surface concentration of particles of about 0,5 pieces/μm2 was developed. The use of obtained test structure for determination of the effective radius of tip of an atomic force microscope probe is demonstrated.
About the Authors
А. Ефимов
Московский физико-технический институт
Russian Federation
Russian Federation
В. Иванов
Московский физико-технический институт
Russian Federation
Russian Federation
И. Волков
ООО “МЦ РОСНАНО”
Russian Federation
Russian Federation
А. Лизунова
ООО “МЦ РОСНАНО”
Russian Federation
Russian Federation
С. Лисовский
Московский физико-технический институт
Russian Federation
Russian Federation
М. Ермакова
Московский физико-технический институт
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Гавриленко В. П. и др. Первые российские стандарты в нанотехнологии // Известия РАН. Сер. физическая. 2009. Т. 73. № 4. С. 454-462.
2. Тодуа П. А. Нанометрология – ключевое звено инфраструктуры нанотехнологий // Труды МФТИ. 2011. Т. 3. № 4. C. 81–96.
3. Латышев А. В., Асеев А. Л. Моноатомные ступени на поверхности кремния. Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2006.
4. Zeng Z. G. et al. A simple method for AFM tip characterization by polystyrene spheres // Ultramicroscopy. 2008. V. 108. N 9. P. 975-980.
5. Xu S., Arnsdorf M. F. Calibration of the scanning (atomic) force microscope with gold particles // J. Microscopy. 1994. V. 173. P. 199-210.
6. Шелковников Е. Ю. и др. Применение параллельных вычислений для повышения качества восстановления СТМ-изображений // Химическая физика и мезоскопия. 2011. Т. 13. № 1. С. 135-139.
7. Zenhausern F. et al. DNA and RNA imaged by scanning force microscopy: influence of molecular-scale friction // Scanning. 1992. V. 14. P. 212-217.
Review
For citations:
, , , , , . Metrologiya. 2013;(10):32-37. (In Russ.)
Views:
39
