Определение эффективного радиуса острия зонда атомно-силового микроскопа с использованием монодисперсных наночастиц оксида кремния
Аннотация
Разработана методика создания образцов монодисперсного ансамбля сферических наночастиц оксида кремния диаметром (26,6 ± 3,5) нм, распределенных равномерно на поверхности подложки из монокристаллического кремния площадью 1 см2 при средней поверхностной концентрации частиц около 0,5 шт/мкм2. Демонстрируется использование полученной тестовой структуры для определения эффективного радиуса острия зонда сканирующего атомно-силового микроскопа.
Об авторах
А. А. Ефимов
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
В. В. Иванов
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
И. А. Волков
ООО “МЦ РОСНАНО”
Россия
Россия
А. А. Лизунова
ООО “МЦ РОСНАНО”
Россия
Россия
С. В. Лисовский
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
М. А. Ермакова
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
Список литературы
1. Гавриленко В. П. и др. Первые российские стандарты в нанотехнологии // Известия РАН. Сер. физическая. 2009. Т. 73. № 4. С. 454-462.
2. Тодуа П. А. Нанометрология – ключевое звено инфраструктуры нанотехнологий // Труды МФТИ. 2011. Т. 3. № 4. C. 81–96.
3. Латышев А. В., Асеев А. Л. Моноатомные ступени на поверхности кремния. Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2006.
4. Zeng Z. G. et al. A simple method for AFM tip characterization by polystyrene spheres // Ultramicroscopy. 2008. V. 108. N 9. P. 975-980.
5. Xu S., Arnsdorf M. F. Calibration of the scanning (atomic) force microscope with gold particles // J. Microscopy. 1994. V. 173. P. 199-210.
6. Шелковников Е. Ю. и др. Применение параллельных вычислений для повышения качества восстановления СТМ-изображений // Химическая физика и мезоскопия. 2011. Т. 13. № 1. С. 135-139.
7. Zenhausern F. et al. DNA and RNA imaged by scanning force microscopy: influence of molecular-scale friction // Scanning. 1992. V. 14. P. 212-217.
Рецензия
Для цитирования:
Ефимов А.А., Иванов В.В., Волков И.А., Лизунова А.А., Лисовский С.В., Ермакова М.А. Определение эффективного радиуса острия зонда атомно-силового микроскопа с использованием монодисперсных наночастиц оксида кремния. Метрология. 2013;(10):32-37.
Просмотров:
38
