Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Подсистема управления технологическим процессом производства интегральных схем
Abstract
In the paper the problems, arising during the organization of production of integrated circuits. The management and control subsystem of the production process of test integrated circuits parties for further organization of mass production is developed. The proposals for use of the module of process optimization of technological processes are given. This module conducts construction of a mathematical model for the production of integrated circuits based on cause-and-effect relationships between parameters of the quality elements.
About the Authors
И. Львович
Панъевропейский университет
Russian Federation
Russian Federation
Я. Львович
Воронежский институт высоких технологий
Russian Federation
Russian Federation
А. Преображенский
Воронежский институт высоких технологий
Russian Federation
Russian Federation
О. Чопоров
Воронежский государственный технический университет
Russian Federation
Russian Federation
Д. Салеев
Воронежский институт высоких технологий
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Павловский В. В., Васильев В. И., Гутман Т. Н. Проектирование технологических процессов изготовления РЭА. М.: Академия, 2013.
2. Дорошевич К. К., Попов В. Н., Стрижков С. А. Методика статистического контроля технологических процессов изготовления интегральных микросхем для партий малого объема при прерывистом производстве // Микроэлектроника. 2002. № 2. С. 152-160.
3. Клячкин В. Н. Модели и методы статистического контроля многопараметрического технологического процесса. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2011.
4. Соболь И. М. Выбор оптимальных параметров в задачах со многими критериями. М.: Дрофа, 2006.
5. Семенкин Е. С., Семенкина О. Э., Коробейников С. П. Оптимизация технических систем. Учебное пособие. Красноярск: СИБУП, 1996.
6. Лисьев Г. А., Попова И. В. Технологии поддержки принятия решений: учеб. пособие. М.: ФЛИНТА, 2011.
7. Томас Ф. САПР микроэлектроники. Этапы большого пути // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2006. №3. С. 82-85.
8. Меньков А. В., Острейковский В. А. Теоретические основы автоматизированного управления. М.: Оникс, 2005.
9. Преображенский А. П., Юров Р. П. САПР современных радиоэлектронных устройств и систем // Вестник Воронежского государственного технического университета. 2006. Т. 2. № 3. С. 35-37.
10. Черноруцкий И. Г. Методы оптимизации. Компьютерные технологии. СПб.: БХВ-Петербург, 2011.
Review
For citations:
, , , , . Metrologiya. 2017;(2):3-9. (In Russ.)
Views:
48
