

Идентификация переходной характеристики ёмкостного датчика относительной влажности воздуха
https://doi.org/10.32446/0132-4713.2019-4-51-68
Аннотация
Об авторах
В. И. КапляРоссия
Е. В. Капля
Россия
А. А. Силаев
Россия
Список литературы
1. Feng Y., Cabezas A. L., Chen Q., Zheng L. R., Zhang Z. B., IEEE Sensors Journal., 2012, vol. 12., no. 9, pp. 2844-2850. DOI: 10.1109/JSEN.2012.2202390
2. Ravikant Singh S., Gupta G., Yadav S., Dubey P. K., Ojha V. N., Kumar A., Sensors and Actuators A: Physical, 2019, vol. 295, no. 15. pp. 133-140. DOI: 10.1016/j.sna.2019.05.023
3. Zhou W. H., Wang L. C., Wang L. B., IEEE Sensors Journal, 2016, vol. 16, no. 15, pp. 5979-5986. DOI: 10.1109/JSEN.2016.2579644
4. Li X., Chen X., Yu X., Chen X., Ding X., Zhao X. A., IEEE Sensors Journal, 2018, vol. 18, no. 3, pp. 962-966. DOI: 10.1109/JSEN.2017.2777871
5. Feng Y., Xie L., Chen Q., Zheng L. R., IEEE Sensors Journal, 2015, vol. 15, no. 6, pp. 3201-3208. DOI: 10.1109/JSEN.2014.2385154
6. Yu X., Chen X., Ding X., Zhao X., IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, 2018, vol. 67, no. 3, pp. 715-721. DOI: 10.1109/TIM.2017.2784082
7. Qiu X., Tang R., Zhu J., Oiler J., Yu C., Wang Z., Yu H., Sensors and Actuators B: Chemical, 2010, vol. 147, no. 2, pp. 381-384. DOI:10.1016/j.snb.2010.04.012
8. Lu D., Zheng Y., Penirschke A., Jakoby R., IEEE Sensors Journal, 2016, vol. 16, no. 1, pp. 13-14. DOI: 10.1109/JSEN.2015.2468082
9. Korenko B., Rothhardt M., Hartung A., Bartelt H., IEEE Sensors Journal, 2015, vol. 15, no. 10, pp. 5450-5454. DOI: 10.1109/JSEN.2015.2444100
10. Soltanian M. R. K., Sharbirin A. S., Ariannejad M. M., Amiri I. S., De La Rue R. M., Brambilla G., Rahman B. M. A., Grattan K. T. V., Ahmad H., IEEE Sensors Journal, 2016, vol. 16, no. 15, pp. 5987-5992. DOI: 10.1109/JSEN.2016.2573961
11. Steele J. J., Fitzpatrick G. A., Brett M. J., IEEE sensors journal, 2007, vol. 7, no. 6, pp. 955-956.
12. Wenhe Z., Xuan H., Jianyun W., Liangbi W., Liangcheng W., Journal Micro/Nanolith, Mems moems, 2017, vol. 16, no. 3, pp. 1-9. DOI: 10.1117/1.JMM.16.3.034503
13. Hong H. P., Jung K. H., Min N. K., Rhee Y. H., Park C. W., IEEE Sensors-Taipei, Taiwan, 2012. DOI: 10.1109/ICSENS.2012.6411151
14. Фрайден Дж. Современные датчики. Справочник. М.: Техносфера, 2005. 592 c.
15. Islam T., Pramanik C., Saha H., Microelectronics Reliability, 2005, vol. 45, no. 7, pp. 697-703.
16. Кирьянов А. П., Коршунов С. М. Термодинамика и молекулярная физика. М.: Просвещение. 1977. 159 c.
17. Buck A. L., Journal of Applied Meteorology, 1981, vol. 20, no. 12, pp. 1527-1532.
18. Dijksman J. F. Design of Piezo Inkjet Print Heads. From Acoustics to Applications, Weinheim: Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA. 2018. 430 p.
19. Капля Е. В. Идентификация и компенсация статических погрешностей фазовых координат элементов оптического энкодера // Измерительная техника. 2014. № 5. C. 13-18.
20. Алхимов Е. А., Довгаль А. Н., Иванова О. Б., Бурцев А. Г., Капля В. И., Носенко В. А. Идентификация электрических параметров печи сопротивления // Измерительная техника. 2011. № 7. C. 46-48.
21. Филлипс Ч., Харбор Р. Системы управления с обратной связью. М.: Лаборатория базовых знаний, 2001. 616 c.
22. Ellis G. Control System Design Guide (Fourth Edition), Waltham: Elsevier Inc. 2012. 498 p.
23. Дэннис Дж., Шнабель Р. Численные методы безусловной оптимизации и решения нелинейных уравнений. М.: Мир, 1988. 440 c.
24. Feng Y., Cabezas A. L., Chen Q., Zheng L. R., Zhang Z. B., IEEE Sensors Journal, 2012, vol. 12, no. 9, pp. 2844-2850. DOI: 10.1109/JSEN.2012.2202390
25. Ravikant Singh S., Gupta G., Yadav S., Dubey P. K., Ojha V. N., Kumar A., Sensors and Actuators A: Physical, 2019, vol. 295, no. 15. pp. 133-140. DOI: 10.1016/j.sna.2019.05.023
26. Zhou W. H., Wang L. C., Wang L. B., IEEE Sensors Journal, 2016, vol. 16. no. 15, pp. 5979-5986. DOI: 10.1109/JSEN.2016.2579644
27. Li X., Chen X., Yu X., Chen X., Ding X., Zhao X., IEEE Sensors Journal, 2018, vol. 18, no. 3, pp. 962-966. DOI: 10.1109/JSEN.2017.2777871
28. Feng Y., Xie L., Chen Q., Zheng L. R., IEEE Sensors Journal, 2015, vol. 15, no. 6, pp. 3201-3208. DOI: 10.1109/JSEN.2014.2385154
29. Yu X., Chen X., Ding X., Zhao X., IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, 2018, vol. 67, no. 3, pp. 715-721. DOI: 10.1109/TIM.2017.2784082
30. Qiu X., Tang R., Zhu J., Oiler J., Yu C., Wang Z., Yu H., Sensors and Actuators B: Chemical, 2010, vol. 147, no. 2, pp. 381-384. DOI:10.1016/j.snb.2010.04.012
31. Lu D., Zheng Y., Penirschke A., Jakoby R., IEEE Sensors Journal, 2016, vol. 16, no. 1, pp. 13-14. DOI: 10.1109/JSEN.2015.2468082
32. Korenko B., Rothhardt M., Hartung A., Bartelt H., IEEE Sensors Journal, 2015, vol. 15, no. 10, pp. 5450-5454. DOI: 10.1109/JSEN.2015.2444100
33. Soltanian M. R. K., Sharbirin A. S., Ariannejad M. M., Amiri I. S., De La Rue R. M., Brambilla G., Rahman B. M. A., Grattan K. T. V., Ahmad H., IEEE Sensors Journal, 2016, vol. 16, no. 15, pp. 5987-5992. DOI: 10.1109/JSEN.2016.2573961
34. Steele J. J., Fitzpatrick G. A., Brett M. J., IEEE Sensors Journal, 2007, vol. 7, no. 6, pp. 955-956.
35. Wenhe Z., Xuan H., Jianyun W., Liangbi W., Liangcheng W., Journal Micro/Nanolith, MEMS MOEMS, 2017, vol. 16, no. 3. pp. 1-9. DOI: 10.1117/1.JMM.16.3.034503
36. Hong H. P., Jung K. H., Min N. K., Rhee Y. H., Park C. W., IEEE Sensors-Taipei, Taiwan 2012. DOI: 10.1109/ICSENS.2012.6411151
37. Fraden J. Handbook of modern sensor. Physics designer and application. Third edition. Springer-Verlag, New York, Inc., 2004, 589 p.
38. Islam T., Pramanik C., Saha H., Microelectronics Reliability, 2005, vol. 45, no. 7, pp. 697-703.
39. Kir’yanov A. P., Korshchnov S. M. Termodinamika i molekulyarnaya fizika [Thermodynamics and molecular physics]. Moscow, Prosveshcheniye, 1977, 159 c.
40. Buck A. L., Journal of Applied Meteorology. 1981. vol. 20, no. 12, pp. 1527-1532.
41. Dijksman J. F., Design of Piezo Inkjet Print Heads. From Acoustics to Applications, Weinheim: Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, 2018, 430 p.
42. Kaplya E. V., Measurement Techniques, 2014, vol. 57, no. 5, pp. 493-500.
43. Alkhimov E. A., Dovgal A. N., Ivanova O. B., Burtsev A. G., Kaplya V. I., Nosenko V. A., Measurement Techniques, 2011, vol. 54, no. 7, pp. 808-812.
44. Charles L. Phillips, Royce D. Harbor., Feedback control systems. Prentice-Hall, Inc., 2000.
45. Ellis G. Control System Design Guide (Fourth Edition), Waltham: Elsevier Inc., 2012.
46. Dennis J. E., Schnabel R. B., Numerical Methods for Unconstrained Optimization and Nonlinear Equations. Prentice-Hall, Inc., New Jersey, 1983, 378 p.
Рецензия
Для цитирования:
Капля В.И., Капля Е.В., Силаев А.А. Идентификация переходной характеристики ёмкостного датчика относительной влажности воздуха. Метрология. 2019;(4):51-68. https://doi.org/10.32446/0132-4713.2019-4-51-68
For citation:
Victor I.K., Egor V.K., Aleksey A.S. Identification of the transient response of the capacitive relative humidity sensor. Metrologiya. 2019;(4):51-68. (In Russ.) https://doi.org/10.32446/0132-4713.2019-4-51-68