Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Термины и их разночтения
Abstract
The ways of solution and setting conventions on the necessity of using general terms for experts in various adjacent trends of physics - where confusions and variant readings in publications are observed - are proposed. Such terms as measurement, experimental and instrumental errors, direct and indirect measurements are also considered. It is proved that, for indirect measurements, the value of instrumental error depends on the model of a system under investigation. The relevancy of the proved dependence, proposed innovations and the peculiarities of indirect measurements are grounded by concrete examples borrowed, in particular, from ellipsometry and polarimetry.
Keywords
терминология,
метрология,
прямые и косвенные измерения,
эллипсометрия,
поляриметрия,
инструментальная погрешность,
экспериментальная погрешность,
методическая погрешность,
показатель преломления,
terminology,
metrology,
direct and indirect measurements,
definition,
ellipsometry,
polarimetry,
instrumental error,
experimental error,
methodical error,
refraction index
About the Author
Т. Хасанов
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Секацкий В. С., Мерзликина Н. В. Методы и средства измерений и контроля: Учеб. пособие. Красноярск: ИПЦ СФУ, 2007.
2. Сергеев А. Г., Крохин В. В. Метрология. М.: Логос, 2001.
3. Хасанов Т. Х. Терминология поляризационной оптики // Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2012. Т. 9 № 1. С. 39-45.
4. Ковалевская Т. В., Овсюк В. Н., Белоконев В. М., Дегтярев Е. В. Фотоника: Словарь терминов / Под ред. В.Н. Овсюка. Новосибирск. Изд-во СО РАН, 2014.
5. РМГ 29-99. Рекомендации по межгосударственной стандартизации.
6. Малыкин Г. Б. Экспериментальная проверка баллистических теорий света в России и СССР // Оптика и спектроскопия. 2014. Т. 116. № 1. С.140-154.
7. Иоффе Б. В. Рефрактометрические методы химии. Л.: Химия, 1983.
8. Хасанов Т.Х. Значения показателей преломления объемного кварца// Оптика и спектроскопия. 2015. Т. 118. Вып. 4. С. 684-692.
9. Хасанов Т. Х. Об использовании измерительных зон в эллипсометрических измерениях // Оптика и спектроскопия. 1988. Т. 64. Вып. 5. С.1087-1094.
10. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет / Пер. с англ. М.: Мир, 1981.
11. Пшеницын В. И., Абаев М. И., Лызлов Н. Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. Л.: Химия, 1986.
12. Хасанов Т. Х. Измерение оптических постоянных подложек на основе отражения // Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2011. Т. 8. С. 62-71.
13. Хасанов Т. Х. Аттестация и средства контроля эллипсометров // Автометрия. 1997. Вып.1. С. 81-94.
14. Ржанов А. В., Свиташев К. К, Семененко Л. В., Семененко А. И., Соколов В. К. Основы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1979.
15. Mutilin S. V., Khasanov T. The Refractive Index of Homogeneous SiO Thin Films // Optics and Spectroscopy. 2008. V. 105. N. 3. P. 461-465.
16. Geiduk A. E., Khasanov T. K. Optical anisotropy in research of nanolayers // IEEE. 2nd Russia School and Seminar on Fundamental Problems of Micro/Nanosystems Technologies. 2010. P. 48-52.
17. Хасанов Т. Х. Особенности сочетания поляриметрии и эллипсометрии // Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2013. Т. 10. № 4. С. 572-579.
Review
For citations:
. Metrologiya. 2016;(2):51-61. (In Russ.)
Views:
43
