|Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Метод бесконтактных измерений электромагнитных параметров тонких плёнок и наноматериалов
Abstract
Dielectric and magnetic inductivity as well as electrical conductivity specify electromagnetic properties of thin films and nanomaterials. The article theoretically proves non-invasive on-line measurement method for electromagnetic parameters of thin films and nanomaterials frequency range. The method is based on the following: the controlled surface is sounded with electromagnetic signal, with reflected signal being analyzed afterwards. Mathematical description of measurement procedure is supplied. Based on that, parameters in question are being calculated. This includes measurement of reflected signal amplitude and phase at different frequencies. Then, combined nonlinear equations are solved.
About the Authors
Б. Скворцов
Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (национальный исследовательский университет)
Russian Federation
Russian Federation
С. Борминский
Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (национальный исследовательский университет)
Russian Federation
Russian Federation
А. Солнцева
Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (национальный исследовательский университет)
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Ландау Д.Л., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика, том VIII. Электродинамика сплошных сред. M: Наука,1982.
2. Алферов Ж.И., Асеев А.Л., Гапонов С.В., Копьев П.С., Панов В.И., Полторацкий Э.А., Сибельдин Н.Н., Сурис Р.А. Наноматериалы и нанотехнологии // Микросистемная техника. 2003. № 8. С.3-13.
3. Мищенко С.В., Ткачев А.Г. Углеродные наноматериалы. Производство, свойства, применение. М.:Машиностроение, 2008.
4. Афонский А. А., Дьяконов В.П. Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике / Под ред. проф. В. П. Дьяконова. М.: ДМК Пресс, 2011.
5. Бреховских Л.М. Волны в слоистых средах. М.: Наука, 1973.
6. Яворский Б.М., Детлаф А.А., Лебедев А.К. Справочник по физике для инженеров и студентов вузов. М.: Оникс, 2006.
7. Скворцов Б.В., Забойников Е.А., Васильев Р.Л. Определение электродинамических параметров материалов в широком диапазоне частот//Измерительная техника. 1997.№ 9.С.24- 29.
8. Пат. 156519 РФ. Устройство бесконтактного контроля электромагнитных параметров тонких плёнок и наноматериалов//2015. Изобретения. Полезные модели. №31.
Review
For citations:
, , . Metrologiya. 2016;(2):27-40. (In Russ.)
Views:
49
