|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Метод бесконтактных измерений электромагнитных параметров тонких плёнок и наноматериалов
Аннотация
Разработан метод бесконтактных оперативных измерений электромагнитных параметров тонких плёнок и наноматериалов. Метод основан на зондировании контролируемой поверхности электромагнитным сигналом. Дано математическое описание процедуры измерений. Приведена методика вычисления искомых параметров, основанная на измерениях амплитуды и фазы отражённого сигнала на различных частотах и решении системы алгебраических уравнений.
Об авторах
Б. В. Скворцов
Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
С. А. Борминский
Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
А. В. Солнцева
Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Список литературы
1. Ландау Д.Л., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика, том VIII. Электродинамика сплошных сред. M: Наука,1982.
2. Алферов Ж.И., Асеев А.Л., Гапонов С.В., Копьев П.С., Панов В.И., Полторацкий Э.А., Сибельдин Н.Н., Сурис Р.А. Наноматериалы и нанотехнологии // Микросистемная техника. 2003. № 8. С.3-13.
3. Мищенко С.В., Ткачев А.Г. Углеродные наноматериалы. Производство, свойства, применение. М.:Машиностроение, 2008.
4. Афонский А. А., Дьяконов В.П. Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике / Под ред. проф. В. П. Дьяконова. М.: ДМК Пресс, 2011.
5. Бреховских Л.М. Волны в слоистых средах. М.: Наука, 1973.
6. Яворский Б.М., Детлаф А.А., Лебедев А.К. Справочник по физике для инженеров и студентов вузов. М.: Оникс, 2006.
7. Скворцов Б.В., Забойников Е.А., Васильев Р.Л. Определение электродинамических параметров материалов в широком диапазоне частот//Измерительная техника. 1997.№ 9.С.24- 29.
8. Пат. 156519 РФ. Устройство бесконтактного контроля электромагнитных параметров тонких плёнок и наноматериалов//2015. Изобретения. Полезные модели. №31.
Рецензия
Для цитирования:
Скворцов Б.В., Борминский С.А., Солнцева А.В. Метод бесконтактных измерений электромагнитных параметров тонких плёнок и наноматериалов. Метрология. 2016;(2):27-40.
Просмотров:
48
