Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Компараторный принцип в прецизионных приборах для пространственных измерений
Abstract
A comparative analysis of the ways to implement the Cartesian coordinate system in devices for spatial measurement is presented. The possible ways of improving the accuracy of the coordinate axes realization is shown. The analysis of coordinate axes assembly in correlation with the selection of converters is corried out.
About the Authors
В. Янушкин
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
Ю. Коляда
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
Н. Крушняк
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Шахнович И. Технология уровня 45 нм: 45, 32, далее везде ? // Электроника, 2008. № 2. С. 102-109.
2. Гапшис А. А, Каспарайтис А. Ю, Модестов М. Б. , Раманаускас В.-З. А., Серков Н. А. Чудов В. А. Координатные измерительные машины и их применение. М.: Машиностроение, 1988.
3. Поляков Е. В., Гинзбург Э. С., Канаев И. И., Патютко Н. Д., Стрелецкий Ю. С. Реализация принципа Аббе в рекоструированной измерительной машине «Фантазия». [Офиц. cайт]. http//www. myshared. ru/slid/671387 (дата обращения 28.08.2014 г.)
4. Онегин Е. Е. Точное машиностроение для микроэлектроники. М.: Радио и связь, 1986.
5. А. с. 262401 СССР. Устройство для измерения координат. Ю. Б. Коляда // Бюллетень изобретений. 1970. № 6.
6. Преснухин Л. Н., Шаньгин В. Ф., Шаталов Б. А. Фотоэлектрические преобразователи информации. М.: Машиностроение, 1974.
7. Коляда Ю. Б, Королев Ю. С., Крушняк Н. Т., Разгулин В. Г., Янушки В. Н. Оптимизация фотоэлектрических измерительных систем // Измерительная техника. 2011. № 12. С. 29-30.
8. Янушкин В. Н., Коляда Ю. Б., Крушняк Н. Т. Цифровой фотоэлектрический длиномер // Измерительная техника. 2013. № 10. С. 23-24.
Review
For citations:
, , . Metrologiya. 2015;(2):9-15. (In Russ.)
Views:
44
