сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Компараторный принцип в прецизионных приборах для пространственных измерений
Аннотация
Приведен сравнительный анализ способов реализаций декартовой системы координат в устройствах для пространственных измерений. Показаны возможности уменьшения погрешности воспроизведения осей координат. Проанализированы компоновки узла координатных перемещений во взаимосвязи с выбором преобразователей.
Ключевые слова
координаты,
компаратор,
компоновка,
направляющие,
интерферометр,
растр,
интерполятор,
coordinates,
comparator,
composition,
guides,
interferometer,
raster,
interpolator
Об авторах
В. Н. Янушкин
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Россия
Россия
Ю. Б. Коляда
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Россия
Россия
Н. Т. Крушняк
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Россия
Россия
Список литературы
1. Шахнович И. Технология уровня 45 нм: 45, 32, далее везде ? // Электроника, 2008. № 2. С. 102-109.
2. Гапшис А. А, Каспарайтис А. Ю, Модестов М. Б. , Раманаускас В.-З. А., Серков Н. А. Чудов В. А. Координатные измерительные машины и их применение. М.: Машиностроение, 1988.
3. Поляков Е. В., Гинзбург Э. С., Канаев И. И., Патютко Н. Д., Стрелецкий Ю. С. Реализация принципа Аббе в рекоструированной измерительной машине «Фантазия». [Офиц. cайт]. http//www. myshared. ru/slid/671387 (дата обращения 28.08.2014 г.)
4. Онегин Е. Е. Точное машиностроение для микроэлектроники. М.: Радио и связь, 1986.
5. А. с. 262401 СССР. Устройство для измерения координат. Ю. Б. Коляда // Бюллетень изобретений. 1970. № 6.
6. Преснухин Л. Н., Шаньгин В. Ф., Шаталов Б. А. Фотоэлектрические преобразователи информации. М.: Машиностроение, 1974.
7. Коляда Ю. Б, Королев Ю. С., Крушняк Н. Т., Разгулин В. Г., Янушки В. Н. Оптимизация фотоэлектрических измерительных систем // Измерительная техника. 2011. № 12. С. 29-30.
8. Янушкин В. Н., Коляда Ю. Б., Крушняк Н. Т. Цифровой фотоэлектрический длиномер // Измерительная техника. 2013. № 10. С. 23-24.
Рецензия
Для цитирования:
Янушкин В.Н., Коляда Ю.Б., Крушняк Н.Т. Компараторный принцип в прецизионных приборах для пространственных измерений. Метрология. 2015;(2):9-15.
Просмотров:
43
