Датчики давления в России и за рубежом
Abstract
The types of pressure sensors produced in Russia and abroad are considered. The basic problems and tasks that developers of sensors are solveing are outlined. The technical details of the best series of pressure sensors are presented. The promising direction for creation of microelectronic pressure sensors with frequency output is determined.
About the Authors
Е. Белозубов
Пензенский государственный университет, Пенза
Russian Federation
Russian Federation
В. Васильев
Пензенский государственный университет, Пенза
Russian Federation
Russian Federation
Н. Громков
Пензенский государственный университет, Пенза
Russian Federation
Russian Federation
П. Чернов
Пензенский государственный университет, Пенза
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Мокров Е. А. Проблемы и перспективы развития датчиковой аппаратуры // Микросистемная техника. 2003. № 9. С. 11 - 17.
2. Белозубов Е. М. Перспективные тонкопленочные тензорезисторные датчики давления для ракетной и авиационной техники // Измерительная техника. 2004. № 5. С. 37 - 41;
3. Belozubov E. M. Promising thin-film strain-resistor pressure sensors for rocket and aviation techniques //Measurement Techniques. 2004. V. 47. N 5. P. 474 - 480.
4. Васильев В. А., Громков Н. В. Датчики давления отечественных и зарубежных производителей //Информационные технологии в науке, образовании, телекоммуникации и бизнесе (Приложение к журналу «Открытое образование»): Труды XXXVI Междунар. конф. М.: Моск. госуд. акад. приборостроения и информатики. 2009. C. 176 - 178.
5. Фрайден Дж. Современные датчики. Справ. издание. М.: Техносфера, 2006.
6. Джексон Р. Г. Новейшие датчики. М.: Техносфера. 2008.
7. Eurosensors XII //Proc. 12th Europ. Conf. on Solid-State Transducers and the 9th UK Conf / on Sensors and their Applications /Ed. N. M. White. U.K.: Inst. of Physics Publ. Ltd., Univ. of Southampton, 1998.
8. OMEGA Eng. Inc. HANDBOOK UCA., Connecticut: Stamford, 2007.
9. KULITE Semiconductor Prod. Inc. HANDBOOK. New Jersey: Leonia, 2006.
10. Measurement Microsystems // IEEE Instrumentation & Measur. Magazine. 2004. V. 7. Iss. 2. P. 4 - 62.
11. Henry Helvajian. Microengineering Aerospace Systems //Abstr. American Institute of Aeronautics and Astronautics, Inc. Reston, Virginia. California: Aerospace Press EI Segundo, 2004.
12. th IEEE Intern. Conf. on micro electromechanical systems, Istambul, 2006.
13. Мокров Е. А., Блинов А. В. Состояние и перспективы развития датчиков, преобразователей физических величин и компонентов датчиков для систем измерения, контроля , управления и диагностики // Проблемы автоматизации и управления в технических системах: Труды Междунар. науч.-техн. конф. Пенза: ПГУ, 2008. С. 148 - 151.
14. Кузеев Е. В. Датчики давления фирмы Metallux //Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2006. № 2. С. 76 - 78.
15. Цыганов В. Ю. Стандарт для ответственных применений. Датчики давлений «Rosemount 3051» // Датчики и Системы. 2008. № 3. С. 52 - 56.
16. Белозубов Е. М., Васильев В. А., Громков Н. В. Тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы - основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники //Измерительная техника. 2009. № 7. С.35 - 38;
17. Belozubov E. M., Vasil'ev V. A., Gromkov N. V. Thin-film nano- and micro-electromechanical systems - the basis of contemporary and future pressure sensors for rocket and aviation engineering //Measurement Techniques. 2009. V. 52. N 7. P. 739 - 744.
18. Белозубов Е. М., Белозубова Н.Е. Тонкопленочные тензорезисторные датчики давления - изделия нано- и микросистемной техники // Нано- и микросистемная техника. 2007. №. 12. С. 49 - 51.
19. Белозубов Е. М., Васильев В. А., Громков Н.В. Проблемы и основные направления исследований тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления //Датчики и системы. 2009. № 8. C. 54 - 58.
20. Белозубов Е. М., Васильев В. А. Нано- и микроэлектромеханические системы тонкопленочных датчиков давления. Принципы построения и перспективы исследований // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2009. № 9. С. 26 - 32.
21. ОАО «НИИФИ» [офиц. сайт]. http://www.niifi.ru (дата обращения: 10.03.2010).
Review
For citations:
, , , . Metrologiya. 2010;(10):15-24. (In Russ.)
Views:
83
